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          產品中心
          Products
          AGM系列精密磨床 APP系列數控小工具頭拋光機 MRP系列磁流體拋光機 IBP系列高能等離子體拋光機 MFM系列多功能復合加工機床 非標定制

            IBP系列IBP系列高能等離子體拋光機

            IBP系列高能等離子體拋光機,采用稀有氣體離子轟擊光學鏡片表面,實現原子級別分辨率的材料去除,是迄今為止最高精度的加工方式之一。
            材料適用性:石英,微晶,ULE,BK7,單晶硅,SiC,藍寶石,白寶石等形狀適用性:平面,球面,二次曲面,高次非球面,自由曲面加工精度:優于1/600入(2=632.8nm)RMS表面粗糙度:優于0.5nm RMS

          • 0512-88888888 17090133615(王經理)
          產品優勢

          技術特色

          非接觸非接觸式加工,不引起疵病,且能有效去除光學表面殘留的金屬離子等污染。

          亞納米材料去除分辨率 可實現亞納米量級材料去除分辨率,加工精度極高。

          高穩定性材料去除穩定性24小時內優于2%,加工確定性好。

          自由曲面加工真6軸5聯動,適用于一般高次非球面和自由曲面加工。

          產品優勢

          更低濺射污染

          最新一代的離子束拋光機采用了自主研發的低污染離子源,進一步抑制離子源自身帶來,的濺射污染,滿足用戶對污染控制的極端要求。

          更低使用成本

          支持進口和國產耗材替換,大幅節約使用成本。

          更高生產效率

          軟硬件上支持一盤多片加工,無需反復抽真空,能耗小,生產率高。

          更加智能化

          可選遠程真空操作控制和一鍵真空抽取功能,更加智能化簡單化。

          李子樹拋光機.jpg

          產品參數

          項目

          IBP300

          IBP600

          IBP1000

          床身材料

          真空專用腔

          運動軸數

          X/Y/Z/A/B五軸聯動(X/Y/Z三軸聯動可選)

          加工空間

          400×400×150mm

          700×700×200mm

          1100×1100×250mm

          最大可加工工件尺寸(φ×H)

          300×150mm

          600×200mm

          1000×250mm

          驅動形式

          直線電機

          重復定位精度

          X/Y/Z優于±5μm

          X/Y/Z優于±5μm

          X/Y/Z優于±10μm

          A/B ±20"

          A/B ±20"

          A/B ±20"

          最大運動速度

          X/Y/Z 3000mm/min

          A/B 20rpm

          極限真空度

          4*10-4Pa

          工作真空度

          1*10-2Pa

          抽真空時間

          1.5h@ 4*10-4Pa

          離子束徑

          5-40mm(可升級至1mm)

          離子能量

          100-2000eV

          最大束電流

          50mA

          最大束電壓

          2000V

          外形尺寸(寬×進深×高)

          5000mm×4000mm×2500mm

          5500mm×6500mm×3000mm

          6500mm×7000mm×3500mm

          產品質量

          4000kg

          8000kg

          14000kg

          工作氣壓

          0.7Mpa

          0.7Mpa

          0.7Mpa

          工作功率

          14KW

          20KW

          23KW

          工作電壓

          三相交流3×380V±10%

          三相交流3×380V±10%

          三相交流3×380V±10%

          環境溫度

          20±2℃

          20±2℃

          20±2℃

          濕度范圍

          ≤50%

          ≤50%

          ≤50%

          加工精度

          批量生產水平:優于1/100λ (λ=632.8nm) RMS

          實驗室水平:優于1/600λ (λ=632.8nm) RMS


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