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    Products
    AGM系列精密磨床 APP系列數控小工具頭拋光機 MRP系列磁流體拋光機 IBP系列高能等離子體拋光機 MFM系列多功能復合加工機床 非標定制

      IBP系列IBP系列高能等離子體拋光機

      IBP系列高能等離子體拋光機,采用稀有氣體離子轟擊光學鏡片表面,實現原子級別分辨率的材料去除,是迄今為止最高精度的加工方式之一。
      材料適用性:石英,微晶,ULE,BK7,單晶硅,SiC,藍寶石,白寶石等形狀適用性:平面,球面,二次曲面,高次非球面,自由曲面加工精度:優于1/600入(2=632.8nm)RMS表面粗糙度:優于0.5nm RMS

    • 0512-88888888 17090133615(王經理)
    產品優勢

    技術特色

    非接觸非接觸式加工,不引起疵病,且能有效去除光學表面殘留的金屬離子等污染。

    亞納米材料去除分辨率 可實現亞納米量級材料去除分辨率,加工精度極高。

    高穩定性材料去除穩定性24小時內優于2%,加工確定性好。

    自由曲面加工真6軸5聯動,適用于一般高次非球面和自由曲面加工。

    產品優勢

    更低濺射污染

    最新一代的離子束拋光機采用了自主研發的低污染離子源,進一步抑制離子源自身帶來,的濺射污染,滿足用戶對污染控制的極端要求。

    更低使用成本

    支持進口和國產耗材替換,大幅節約使用成本。

    更高生產效率

    軟硬件上支持一盤多片加工,無需反復抽真空,能耗小,生產率高。

    更加智能化

    可選遠程真空操作控制和一鍵真空抽取功能,更加智能化簡單化。

    李子樹拋光機.jpg

    產品參數

    項目

    IBP300

    IBP600

    IBP1000

    床身材料

    真空專用腔

    運動軸數

    X/Y/Z/A/B五軸聯動(X/Y/Z三軸聯動可選)

    加工空間

    400×400×150mm

    700×700×200mm

    1100×1100×250mm

    最大可加工工件尺寸(φ×H)

    300×150mm

    600×200mm

    1000×250mm

    驅動形式

    直線電機

    重復定位精度

    X/Y/Z優于±5μm

    X/Y/Z優于±5μm

    X/Y/Z優于±10μm

    A/B ±20"

    A/B ±20"

    A/B ±20"

    最大運動速度

    X/Y/Z 3000mm/min

    A/B 20rpm

    極限真空度

    4*10-4Pa

    工作真空度

    1*10-2Pa

    抽真空時間

    1.5h@ 4*10-4Pa

    離子束徑

    5-40mm(可升級至1mm)

    離子能量

    100-2000eV

    最大束電流

    50mA

    最大束電壓

    2000V

    外形尺寸(寬×進深×高)

    5000mm×4000mm×2500mm

    5500mm×6500mm×3000mm

    6500mm×7000mm×3500mm

    產品質量

    4000kg

    8000kg

    14000kg

    工作氣壓

    0.7Mpa

    0.7Mpa

    0.7Mpa

    工作功率

    14KW

    20KW

    23KW

    工作電壓

    三相交流3×380V±10%

    三相交流3×380V±10%

    三相交流3×380V±10%

    環境溫度

    20±2℃

    20±2℃

    20±2℃

    濕度范圍

    ≤50%

    ≤50%

    ≤50%

    加工精度

    批量生產水平:優于1/100λ (λ=632.8nm) RMS

    實驗室水平:優于1/600λ (λ=632.8nm) RMS


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