IBP系列高能等離子體拋光機應用案例二
日期:2022-04-27 10:18:21
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IBP系列高能等離子體拋光機應用案例二:非球面精修/壓高邊
初始狀態:表面為光學面,面形誤差優于0.1入 RMS,無明顯瑕疵,或存在局部高點,翹邊。
最終狀態:面形誤差優于1/100入RMS,維持前道工序表面粗糙度和疵病等級。
工藝過程:離子束拋光1次。
加工時間:170mm口徑光學元件,根據入口情況,約1小時在機加工時間。